EDX-7000/8000能量色散X射线分析利用x射线能量不同而展谱一般称为x射线能谱分析或能量色散x射线分析,所用设备通常称为能量色散谱仪。主要单元是半导体探测器及多道脉冲高度分析器,用以将特征x射线按能量展i}}Er7,5的分辨率远不如波长色散谱仪,它有分析速度快的优点,和通用的x射线波长色散谱仪相比可提高10倍,如果进行物相鉴定,只需几分钟就可以得到被测物质的全部衍射花样。
通过测定荧光X射线的能量实现对被测样品的分析的方式称之为能量色散X射线荧光分析,相应的仪器称之为能谱仪,通过测定荧光X射线的波长实现对被测样品分析的方式称之为波长色散X射线荧光分析,相应的仪器称之为X射线荧光光谱仪。
根据激发方式的不同,X射线荧光分析仪可分为源激发和管激发两种:用放射性同位素源发出的X射线作为原级X射线的X荧光分析仪称为源激发仪器;用X射线发生器(又称X光管)产生原级X射线的X荧光分析仪称为管激发仪器。
能量色散型又根据探测器的类型分为(Si-PIN)型和SDD型。在不同的应用条件下,这几种类型的技术各有其突出的特点。目前,X射线荧光分析不仅材料科学、生命科学、环境科学等普遍采用的一种快速、准确而又经济的多元素分析方法。
这也是X射线荧光光谱仪也是野外现场分析和过程控制分析等方面常用仪器之一。同时,成为地质、冶金、建材、石油化工、半导体工业和医药卫生等领域的重要分析手段。