EDX能量色散X射线分析仪是x射线能谱分析的一种仪器。在电子与物质相互作用时,采用能聚焦的入射电子可以激发初级x射线,不同元素发射出来的特征x射线波长不同,能量也不同。利用x射线能量不同而展谱一般称为x射线能谱分析或能量色散x射线分析,所用设备通常称为能量色散谱仪。
EDX能量色散X射线分析主要单元是半导体探测器及多道脉冲高度分析器,用以将特征x射线按能量展i}}Er7,5的分辨率远不如波长色散谱仪,它有分析速度快的优点,和通用的x射线波长色散谱仪相比可提高10倍,如果进行物相鉴定,只需几分钟就可以得到被测物质的全部衍射花样。
根据分光方式的不同,X射线荧光分析可分为能量色散和波长色散两类,也就是通常所说的能谱仪和波谱仪,缩写为EDXRF和WDXRF。
EDX能量色散X射线分析通过测定荧光X射线的能量实现对被测样品的分析的方式称之为能量色散X射线荧光分析,相应的仪器称之为能谱仪,通过测定荧光X射线的波长实现对被测样品分析的方式称之为波长色散X射线荧光分析,相应的仪器称之为X射线荧光光谱仪。
根据激发方式的不同,X射线荧光分析仪可分为源激发和管激发两种:用放射性同位素源发出的X射线作为原级X射线的X荧光分析仪称为源激发仪器;用X射线发生器(又称X光管)产生原级X射线的X荧光分析仪称为管激发仪器。
根据分析能力的大小还可分为多元素分析仪器和个别元素分析仪器。这种称呼多用于能量色散型仪器。在波长色散型仪器中,根据可同时分析元素的多少可分为,单道扫描X荧光光谱仪、小型多道X荧光光谱仪和大型X荧光光谱仪。