微焦点X射线检查系统

将X射线和CT结合

XslicerSMX-6000微焦点X射线检查系统是岛津公司采用自制的微焦点X射线发生器和高灵敏度平板接收器的一款带有CT功能的X射线透视系统。

顺畅的切换将透视观察和断面观察快速连接在一起，全新的CT处理引擎能够进行全自动校准、高速拍摄以及重构。

高放大倍数、高分辨率的图像不会变形，从而可以观察电子元器件等平板状样品内部的细微构造和缺陷。

Easy  operation

采用全新UI（用户界面）可以实现直观的简单操作。关闭拉门后即可开始检查。即使对于初次使用者，也可以轻松地进行X射线检查

Easy  CT  imaging

从X射线透视观察到CT摄影只需点击切换图标。对于透视观察难以识别的立体构造物品，通过简单的操作就能立刻切换到断面观察。

High  Speed  Scan   & Reconstruction

设备采用了可实现*自动化校正与高速CT 扫描&重建的「Xslicer 」系统。从CT拍摄开始到显示截面图像最短可在3分钟以内完成。

Easy operation　直观的操作

通过大型显示器以及简单的按键设置可以实现视认性良好的直观操作。即使对于初次使用者，也可以轻松地进行X射线检查。

使用大型显示器

本品采用了27英寸大型显示器。通过简单的按键设置以及高清晰度的大型检出器，可在视认性良好的状态下对样品进行仔细的观察。

用X射线图像定位
只需点击X射线图像上的任意一点，就可以对载物台进行全行程的移动控制。包括 XY·倾斜·旋转以及变更视野大小等。

使用外观图像定位
本品使用了拍摄外观图像的专用相机，能够对整个载物台进行摄影。只需在外观图像点击的希望检查的位置，即可对载物台进行定位。当然，操作人员也可以通过对外观图像进行放大或缩小，来实现部件级别的详细定位。这样，操作者的视线无需离开显视器便可连续进行操作。

微焦点X射线检查系统Easy  operation  操作简便

从放入样品起只需3步即可开始X射线透视拍摄。

STEP1更换样品

按下更换样品按钮

●停止发射X射线
●解除正门的电磁锁
●载物台会自动移动到便于更换样品的位置

STEP2开始检查

关闭正门，按下开始按钮。

● 发射X射线
● 拍摄整个载物台的外观图像

STEP3定位

在拍摄的外观图像上确定大致的观察位置并点击该位置点，再在X射线透视图像上点击鼠标，精确确定观察位置。

由于采用了新的UI（用户界面），全部的移动操作可通过点击或拖拽X射线图像来实现。这样操作者的视线无需离开监视器便可快速进行移动的操作。

<中心位置移动>
若鼠标点击X射线图像的显示区域，则移动前图像上被点击的位置就成为当前显示区域的中心。

<放大>
若在X射线图像显示区域内，从左往右拖拽鼠标，则拖拽的范围会放大到全屏显示。

<缩小>
若在X射线图像显示区域内，从右往左拖拽鼠标，则画面会按照一定的倍率缩小。

Easy CT imaging 轻松的CT拍摄

对于透视图像上不易识别、具有复杂的立体构造的样品可分为不同层面进行断面观察。

CT的原理

当平板检出器倾斜时，载物台一边进行360度旋转，检出器一边采集X射线透视图像，利用采集的透视图像进行重建演算，形成截面图像。如果只使用X射线透视进行观察，由于在射线方向的信息会叠加，导致无法分辨双面实装基板的正反面；但如果使用X射线CT，就可以细致地观察每一个层面。

进行X射线透视时，射线方向（一般为样品厚度方向）上的信息会重叠，如果样品为双面实装基板，则无法分辨观察点处于基板的哪一面，但如果使用X射线CT模式检测，就可以对每个层面单独进行观察。

Smooth  Switching  顺畅切换

只需选择菜单图标便可轻松实现X射线透视与CT拍摄之间的切换。CT拍摄的条件设置十分简单，只需选择拍摄模式、拍摄角度、拍摄视野即可完成。在透视检查中希望观察的点可立刻顺畅切换至CT观察模式。

High  Speed  Scan &  Reconstruction高速拍摄＆高速重建

设备采用新型CT处理引擎「XslicerEngine」，过去的CT拍摄开始前必须的校正作业现在*自动化，真正实现了高速拍摄。从CT拍摄到显示截面图像最快可在3分钟内完成。（※简易模式下）
另外，「XslicerEngine」大幅提升了重建的演算速度，数据采集结束后仅需5秒便可显示出截面图像。

可选软件

Image-Pro Analyzer

是功能强大的2维图像处理软件。

VGStudio三维图像处理软件

将使用X射线CT拍摄的截面图像，通过Volume lettering（VR）以三维形式显示的软件。具备基本的动画制作和简单的测量功能。

辅助检查的各项功能

教学（Teaching）功能

只要事先登录好检查点，就可以高效率的对同一种样品进行相同要求的检测。

自动画质调整功能

系统可对各个画面设定最合适的观察条件。

全景图像

只需从外观图像上选定拍摄范围，即可轻松得到最合适的全景立体图像。

产品应用