热场发射扫描电子显微镜

热场发射扫描电子显微镜特性：

半浸没式物镜

半浸没式物镜在样品周围形成强磁场，因而可以获得超高分辨率。

High Power Optics

High Power Optics 是*的电子光学系统，既实现了高倍率观察又能进行多种分析。

热场发射扫描电子显微镜浸没式肖特基场发射电子枪，可以获得10 倍于传统肖特基场发射电子枪（FEG）的探针电流，光阑角控制镜（ALC）在探针电流增大时也能保持小束斑，两者组合起来能提供200 nA 以上的探针电流。强大的High Power Optics 系统，从高倍率图像观察到EDS分析和EBSD解析可以一直使用高分辨率的最小物镜光阑而不需要改换。

浸没式肖特基场发射电子枪銃   

浸没式肖特基场发射电子枪通过和低像差聚光镜组合，可以有效地收集从电子枪内发射的电子。

光阑角控制镜（ACL）

光阑角控制镜（ACL）配置在物镜的上方，在整个探针电流范围内自动优化物镜光阑的角度。因此，即使照射样品的探针电流很大，与传统方式相比，也能获得很小的电子束斑。

即使探针电流很大，束斑直径也很小

长时间分析时稳定度也很高

柔和电子束（GB:GENTLEBEAMTM）模式

GB 模式的效果

GB 模式在低电压下提高分辨率

左图一般模式，右图GB模式：

增强了的低加速电压下的分辨率

r-过滤器

 LABE检测器（选配件）

利用LABE 检测器获取低角度背散射电子像

扩展性

能谱仪（EDS）

波谱仪（WDS）

阴极荧光系统（CL）